什么是兆声波清洗机?

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/04/28 07:09:01

什么是兆声波清洗机?
什么是兆声波清洗机?

什么是兆声波清洗机?
兆声波清洗机第一品牌和科达
1.高频振动去除亚微米颗粒即刻不损坏晶圆.
　　2.1MHz的高频超声波消除了气泡破坏.
　　3.国家的最先进的数码发电机促进高效率的清洗效果.
　　4.耐用,长寿命和低热量的损失.
　　5.适用于半导体如液晶玻璃,硅片,硬盘,水晶元件等行业.

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兆声波清洗技术：
兆声波清洗不但保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足。兆声波清洗的机理是由高能(850kHz)频振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗的。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，最大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。
兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。目前兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。

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